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名稱(chēng)：特氣柜（Gas Cabinet）
用途：特氣柜主要用于供應特種氣體，如易燃、易爆、劇毒等，以滿(mǎn)足半導體和LED等新興行業(yè)的需求。
供應商：西安西能光伏科技有限公司
特氣柜（Gas Cabinet）優(yōu)勢特點(diǎn)介紹：
安全性：特氣柜的設計和制造過(guò)程中注重安全因素，具有完善的安全報警裝置，如氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）報警信號被觸發(fā)時(shí)，自動(dòng)切斷。此外，特氣柜采用PLC控制，通過(guò)設備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過(guò)流量計等裝置，實(shí)現設備安全有效的運行。
高效性：特氣柜采用自動(dòng)吹掃和自動(dòng)切換功能，可以快速準確地供應所需氣體，確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行。
純度：特氣柜內部采用高純閥件的合理選擇和布局，以滿(mǎn)足半導體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對氣體的純度要求。
可靠性：特氣柜采用PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能，確保設備的穩定性和可靠性，降低故障率。
定制化：特氣柜的箱體設計采用安全設計，所選用的材料適用于各種不同性質(zhì)的氣體，可根據客戶(hù)需求進(jìn)行定制。